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公司新聞

激光干涉測速儀有兩個(gè)主流類(lèi)型

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  激光干涉測量是實(shí)現超精密測控和微納尺度測量的有效手段之一。激光干涉測速儀基于光學(xué)多普勒效應,全部采用單模光纖傳輸光信號,利用光學(xué)干涉混頻技術(shù)獲得物體的連續速度信息,整個(gè)系統采用全光纖連接,不僅提高系統的穩定性、減小體積,而且由于采用高性能的單模光纖,使系統的響應時(shí)間不再受限于光纖色散,可實(shí)現50ps量級時(shí)間分辨率的速度測量。
  具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。
  激光干涉測速儀有很多應用,但本質(zhì)都是測量中學(xué)課本講的“位移”,諸多應用都是“位移”的延伸和轉化。有兩個(gè)主流類(lèi)型:?jiǎn)晤l激光和雙頻激光。
  單頻能做的雙頻激光干涉儀都能做,但雙頻能做的單頻不見(jiàn)得能做。由于歷史、技術(shù)和商業(yè)原因,兩種測速儀都有著(zhù)廣泛應用,但在光刻機上,雙頻激光市場(chǎng)更大。
  單頻不需要對市場(chǎng)上的氦氖激光器進(jìn)行改造,直接可用。但雙頻激光用的激光器需要附加技術(shù)使其產(chǎn)生雙頻(兩個(gè)頻率)。雙頻激光測量位移的速度不及單頻激光,自從發(fā)明了雙折射-塞曼雙頻激光器,雙頻激光的測量速度也達到每秒幾米,與單頻激光器看齊了。

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